(EN) Low-cost and robust platforms are key for the development of next-generation 3D micro- and nanodevices. To fabricate such platforms, nanocrystalline diamond (NCD) is a highly appealing material due to its biocompatibility, robustness, and mechanical, electrical, electrochemical, and optical properties, while glass substrates with through vias are ideal interposers for 3D integration due to the excellent properties of glass. A low-cost process - free of photolithography and transfer printing - for fabricating arrays of TGVs that are sealed with suspended portions of an ultra-thin NCD film on one side is presented. These highly transparent structures may serve as a platform for the development of microwells for single-cell culture and analysis, 3D integrated devices such as microelectrodes, and quantum technologies. It is also possible to replace the NCD with silicon nitride or silicon carbide, allowing for the development of complex heterogeneous structures on a small scale.
(FR) Des plates-formes économiques et robustes sont essentielles pour le développement de micro- et de nano-dispositifs 3D de prochaine génération. Pour fabriquer de telles plates-formes, le diamant nanocristallin est un matériau hautement attractif en raison de sa biocompatibilité, de sa robustesse et de ses propriétés mécaniques, électriques, électrochimiques et optiques, tandis que les substrats en verre dotés de trous d'interconnexion traversants constituent d'excellents éléments d'interposition pour une intégration 3D en raison des excellentes propriétés du verre. Un procédé peu coûteux, ne faisant appel ni à la photolithographie ni à l'impression par transfert, pour la fabrication de réseaux de trous d'interconnexion à travers le verre (TGV) qui sont scellés avec des parties en suspension d'un film en diamant nano-cristallin ultra-mince sur une face est présenté. Ces structures hautement transparentes peuvent servir de plateforme pour le développement de micro-puits pour la culture et l'analyse de cellules uniques, de dispositifs intégrés 3D, tels que des micro-électrodes, et de technologies quantiques. Il est également possible de remplacer le diamant nano-cristallin par du nitrure de silicium ou du carbure de silicium, ce qui permet le développement de structures hétérogènes complexes à petite échelle.
