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1. WO2020031657 - LINEAR MOTOR MECHANISM AND TWO-AXIS STAGE

Publication Number WO/2020/031657
Publication Date 13.02.2020
International Application No. PCT/JP2019/028407
International Filing Date 19.07.2019
IPC
H02K 41/03 2006.01
HELECTRICITY
02GENERATION, CONVERSION, OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
41Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
02Linear motors; Sectional motors
03Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
Applicants
  • 東レエンジニアリング株式会社 TORAY ENGINEERING CO., LTD. [JP/JP]; 東京都中央区八重洲1丁目3番22号(八重洲龍名館ビル) Yaesu Ryumeikan Bldg., 3-22, Yaesu 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030028, JP
Inventors
  • 岩出 卓 IWADE, Takashi; JP
  • 竹上 敏史 TAKEGAMI, Toshifumi; JP
  • 酒井 博史 SAKAI, Hirofumi; JP
  • 石 和輝 ISHI, Kazuki; JP
Priority Data
2018-15135910.08.2018JP
2019-12066428.06.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) LINEAR MOTOR MECHANISM AND TWO-AXIS STAGE
(FR) MÉCANISME DE MOTEUR LINÉAIRE ET ÉTAGE À DEUX AXES
(JA) リニアモータ機構および二軸ステージ
Abstract
(EN)
Provided are a linear motor mechanism and a two-axis stage that can be used in vacuum without causing a problem due to the heat generation of a coil. Specifically, the linear motor mechanism 1 in which a stator and a mover are disposed in a vacuum chamber 10 is provided with: a coil 3 that is the stator; and a magnet 5 that is the mover. A coil holding portion 2 internally including the coil 3 is fixed to the vacuum chamber 10, and the vacuum chamber 10 has an opening portion 13 through which a part of the coil holding portion 2 is exposed to the air.
(FR)
L'invention concerne un mécanisme de moteur linéaire et un étage à deux axes qui peuvent être utilisés sous vide sans provoquer de problème dû à la génération de chaleur d'une bobine. Plus précisément, le mécanisme de moteur linéaire (1) dans lequel un stator et un dispositif de déplacement sont disposés dans une chambre à vide (10) comporte : une bobine (3) qui est le stator ; et un aimant (5) qui est le dispositif de déplacement. Une partie de maintien de bobine (2) comportant la bobine (3) en interne est fixée à la chambre à vide (10), et la chambre à vide (10) présente une partie d'ouverture (13) à travers laquelle une partie de la partie de maintien de bobine (2) est exposée à l'air.
(JA)
コイルの発熱に起因する問題を生じさせずに真空中で使用することが可能なリニアモータ機構および二軸ステージを提供する。具体的には、真空チャンバ10内に固定子および可動子が配置されるリニアモータ機構1であり、固定子であるコイル3と、可動子である磁石5と、を備え、コイル3を内包するコイル保持部2が真空チャンバ10に固定され、真空チャンバ10は開口部13を有し、開口部13を介してコイル保持部2の一部が外気に露出している。
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