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1. WO2021145078 - LIGHT-EMITTING BODY, ELECTRON BEAM DETECTOR, AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE

Publication Number WO/2021/145078
Publication Date 22.07.2021
International Application No. PCT/JP2020/044496
International Filing Date 30.11.2020
IPC
C09K 11/00 2006.1
CCHEMISTRY; METALLURGY
09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KMATERIALS FOR APPLICATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent, materials
H01J 37/244 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
244Detectors; Associated components or circuits therefor
H01J 37/28 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
28with scanning beams
Applicants
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
Inventors
  • 前田 純也 MAEDA Junya
  • 金子 喬吾 KANEKO Kyogo
  • 山内 邦義 YAMAUCHI Kuniyoshi
Agents
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
Priority Data
2020-00612117.01.2020JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) LIGHT-EMITTING BODY, ELECTRON BEAM DETECTOR, AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
(FR) CORPS ÉLECTROLUMINESCENT, DÉTECTEUR DE FAISCEAU D’ÉLECTRONS ET MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
(JA) 発光体、電子線検出器、及び走査型電子顕微鏡
Abstract
(EN)
This light-emitting body (10) for converting input electrons into light comprises a multiple quantum well structure (14C) which emits light in response to the input of electrons, and an electron input surface (10a) which is provided on the multiple quantum well structure (14C). A certain barrier layer included among a plurality of barrier layers that constitute the multiple quantum well structure (14C) is thicker than another barrier layer among the plurality of barrier layers which is positioned on the electron input surface (10a) side of the certain barrier layer. This makes it possible to provide a light-emitting body, electron beam detector and scanning electron microscope with which it is possible to improve light conversion efficiency from a small acceleration voltage to a large acceleration voltage.
(FR)
La présente invention concerne un corps électroluminescent (10) pour convertir des électrons d’entrée en lumière qui comprend une structure à puits quantiques multiples (14C) qui émet de la lumière en réponse à l’entrée d’électrons, et une surface d’entrée d’électrons (10a) qui est disposée sur la structure à puits quantiques multiples (14C). Une certaine couche barrière est incluse parmi une pluralité de couches barrières qui constituent la structure à puits quantiques multiples (14C) qui est plus épaisse qu’une autre couche barrière parmi la pluralité de couches barrières qui est positionnée sur le côté surface d’entrée d’électrons (10a) de ladite couche barrière. Cela permet de fournir un corps électroluminescent, un détecteur de faisceau d’électrons et un microscope électronique à balayage avec lesquels il est possible d’améliorer l’efficacité de conversion de lumière d’une faible tension d’accélération à une tension d’accélération élevée.
(JA)
発光体(10)は、入力した電子を光に変換する発光体であって、電子の入力により光を発する多重量子井戸構造(14C)と、多重量子井戸構造(14C)上に設けられる電子入力面(10a)とを備える。多重量子井戸構造(14C)を構成する複数の障壁層に含まれる或る障壁層は、複数の障壁層に含まれ或る障壁層に対して電子入力面(10a)側に位置する別の障壁層よりも厚い。これにより、小さな加速電圧から大きな加速電圧にかけて光変換効率を向上することが可能な発光体、電子線検出器、及び走査型電子顕微鏡が実現される。
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