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1. WO2021144432 - RESONATOR AND POWER OSCILLATOR FOR CONSTRUCTING AN INTEGRATED PLASMA SOURCE AND USE THEREOF

Publication Number WO/2021/144432
Publication Date 22.07.2021
International Application No. PCT/EP2021/050826
International Filing Date 15.01.2021
IPC
H01J 37/32 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes
H05H 1/46 2006.1
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY- CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
46using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
Applicants
  • FERDINAND-BRAUN-INSTITUT GGMBH, LEIBNIZ-INSTITUT FÜR HÖCHSTFREQUENZTECHNIK [DE]/[DE]
Inventors
  • WOLF, Denis
Agents
  • GULDE & PARTNER PATENT- UND RECHTSANWALTSKANZLEI MBB
Priority Data
10 2020 100 872.415.01.2020DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) RESONATOR UND LEISTUNGSOSZILLATOR ZUM AUFBAU EINER INTEGRIERTEN PLASMAQUELLE SOWIE DEREN VERWENDUNG
(EN) RESONATOR AND POWER OSCILLATOR FOR CONSTRUCTING AN INTEGRATED PLASMA SOURCE AND USE THEREOF
(FR) RÉSONATEUR ET OSCILLATEUR DE PUISSANCE POUR CONSTITUER UNE SOURCE DE PLASMA INTÉGRÉE ET UTILISATION D’UNE TELLE SOURCE DE PLASMA
Abstract
(DE)
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Resonator zur Erzeugung eines atmosphärischen Mikrowellenplasmas, einen Leistungsoszillator zur Einspeisung von Mikrowellen in einen Resonator sowie eine aus diesen Komponenten aufgebaute Plasmaquelle. Weiterhin betrifft die Erfindung die Verwendung einer solchen Plasmaquelle zur Behandlung von Oberflächen. Insbesondere kann es sich bei einer erfindungsgemäßen Plasmaquelle um einen integrierten Aufbau bestehend aus einem Resonator (100) und einem Leistungsoszillator (200) in einem gemeinsamen Gehäuse zur Realisierung einer besonders kompakten Vorrichtung handeln. Dadurch lässt sich diese selbst in kleinstmögliche Industrieanlagen und Geräte integrieren oder als eigenständiges handliches Tool verwenden. Ein erfindungsgemäßer Leistungsoszillator (200) umfasst ein aktives Element (220), ein Anpassnetzwerk (210) und ein regelbares Rückkoppelnetzwerk (230).
(EN)
The invention relates to a resonator for generating an atmospheric microwave plasma, a power oscillator for feeding microwaves into a resonator, and a plasma source constructed from these components. The invention also relates to the use of a plasma source of this type for treating surfaces. In particular, a plasma source according to the invention can be an integrated construction consisting of a resonator (100) and a power oscillator (20) in a common housing in order to produce a particularly compact device. In this way, it can be integrated in the smallest possible industrial systems and equipment, or can be used as an independent hand tool. The power oscillator (200) according to the invention comprises an active element (220), a matching network (210) and a controllable feedback network (230).
(FR)
La présente invention concerne un résonateur pour générer un plasma micro-onde atmosphérique, un oscillateur de puissance pour injecter des micro-ondes dans un résonateur, ainsi qu'une source de plasma constituée de ces composants. L'invention concerne en outre l'utilisation d’une telle source de plasma pour traiter des surfaces. La source de plasma selon l'invention peut être en particulier une structure intégrée constituée d'un résonateur (100) et d'un oscillateur de puissance (200) dans un boîtier commun pour former un dispositif particulièrement compact. Cette configuration permet même d'intégrer la source de plasma dans des installations industrielles et des appareils extrêmement petits ou de l'utiliser comme outil à main autonome. Un oscillateur de puissance (200) selon l'invention comprend un élément actif (220), un réseau d'adaptation (210) et un réseau de rétroaction réglable (230).
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