(EN) An inspection system is disclosed. The system includes a controller communicatively couplable with an inspection sub-system configured to receive illumination from a sample and generate image data. The controller includes one or more processors configured to execute program instructions causing the one or more processors to receive the image data, wherein the image data comprises at least one image, downsample the at least one image using bicubic interpolation or bilinear interpolation, transform the at least one image from a spatial domain to a frequency domain using a Fourier transform, filter frequencies higher than a threshold frequency from the at least one image, transform the at least one image from the frequency domain to the spatial domain using an inverse Fourier transform, and detect one or more flat-pattern defects in the at least one image.
(FR) Un système d'inspection est décrit. Le système comprend un dispositif de commande pouvant être couplé en communication à un sous-système d'inspection configuré pour recevoir un éclairage provenant d'un échantillon et générer des données d'image. Le dispositif de commande comprend un ou plusieurs processeur(s) configuré(s) pour exécuter des instructions de programme amenant le(s) processeur(s) à recevoir les données d'image, les données d'image comprenant au moins une image ; sous-échantillonner la ou les image(s) au moyen d'une interpolation bicubique ou d'une interpolation bilinéaire ; transformer la ou les image(s), d'un domaine spatial en un domaine fréquentiel à l'aide d'une transformée de Fourier ; extraire par filtrage les fréquences supérieures à une fréquence seuil de la ou des image(s) ; transformer la ou les image(s) du domaine fréquentiel en domaine spatial à l'aide d'une transformée de Fourier inverse ; et détecter un ou plusieurs défaut(s) à motif plat dans la ou les image(s).