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1. WO2020207897 - CAPACITOR APPARATUS FOR AN OPTICAL FILTER

Publication Number WO/2020/207897
Publication Date 15.10.2020
International Application No. PCT/EP2020/059398
International Filing Date 02.04.2020
IPC
G02B 5/28 2006.01
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
20Filters
28Interference filters
G02B 26/00 2006.01
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating or modulating
CPC
G02B 26/001
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
001based on interference in an adjustable optical cavity
G02B 5/284
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
20Filters
28Interference filters
284of etalon type comprising a resonant cavity other than a thin solid film, e.g. gas, air, solid plates
Applicants
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Inventors
  • KRAEMMER, Christoph Daniel
  • ROEDEL, Reinhold
Priority Data
10 2019 205 184.711.04.2019DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) KONDENSATORVORRICHTUNG FÜR EINEN OPTISCHEN FILTER
(EN) CAPACITOR APPARATUS FOR AN OPTICAL FILTER
(FR) DISPOSITIF DE CONDENSATEUR POUR FILTRE OPTIQUE
Abstract
(DE)
Die Erfindung betrifft eine Kondensatorvorrichtung für einen optischen Filter mit einer ersten Elektrodenstruktur, welche auf/über zumindest einer Substratoberfläche (52a) angeordnet ist, einem die erste Elektrodenstruktur kontaktierenden Leitungsabschnitt (54), welcher auf/über zumindest der Substratoberfläche (52a) verläuft, und einer zweiten Elektrodenstruktur (58), welche zumindest eine leitfähige Elektrodenmaterialschicht umfasst, wobei ein Leitungsüberspannbereich (60a) der leitfähigen Elektrodenmaterialschicht (60) definierbar ist, welcher den Leitungsabschnitt (54) zumindest teilweise überspannt, und wobei die leitfähige Elektrodenmaterialschicht derart geformt ist, dass der Leitungsüberspannbereich (60a) mittels eines ersten Stützbereichs (60b) der leitfähigen Elektrodenmaterialschicht, welcher die Substratoberfläche (52a) und/oder mindestens eine die Substratoberfläche (52a) zumindest teilweise abdeckende Zwischenschicht auf einer ersten Randseite des Leitungsabschnitts (54) kontaktiert, und mittels eines zweiten Stützbereichs (60c) der leitfähigen Elektrodenmaterialschicht, welcher die Substratoberfläche (52a) und/oder die mindestens eine Zwischenschicht auf einer zweiten Randseite des Leitungsabschnitts (54) kontaktiert, abgestützt.
(EN)
The invention relates to a capacitor apparatus for an optical filter with a first electrode structure, which is arranged on/over at least one substrate surface (52a), a conductor section (54), which contacts the first electrode structure and extends on/over at least the substrate surface (52a), and a second electrode structure (58), which comprises at least one conductive electrode material layer, wherein a conductor-spanning region (60a) of the conductive electrode material layer (60) is definable, which at least partly spans over the conductor section (54), and wherein the conductive electrode material layer is formed in such a way that the conductor-spanning region (60a) is supported by means of a first support region (60b) of the conductive electrode material layer, which contacts the substrate surface (52a) and/or at least one intermediate layer at least partly covering the substrate surface (52a) on a first edge side of the conductor section (54), and by means of a second support region (60c) of the conductive electrode material layer, which contacts the substrate surface (52a) and/or the at least one intermediate layer on a second edge side of the conductor section (54).
(FR)
La présente invention concerne un dispositif de condensateur pour un filtre optique pourvu de : une première structure d’électrode qui est disposée sur/au-dessus d’au moins une surface de substrat (52a) ; une section de ligne (54) mettant en contact la première structure d’électrode et s’étendant sur/au-dessus de la surface de substrat (52a) ; et une seconde structure d’électrode (58) qui comporte au moins une couche conductrice de matériau d’électrode. Il est possible de définir une zone de recouvrement de ligne (60a) de la couche de matériau d’électrode (60) qui recouvre au moins en partie la section de ligne (54). La couche conductrice de matériau d’électrode est formée de manière que la zone de recouvrement (60a) est soutenue au moyen d’une première zone d’appui (60b) de la couche conductrice de matériau d’électrode, qui met en contact la surface de substrat (52a) et/ou au moins une couche intermédiaire recouvrant au moins en partie la surface de substrat (52a) sur un premier bord de la section de ligne (54), et au moyen d’une seconde zone d’appui (60c) de la couche conductrice de matériau conducteur qui met en contact la surface de substrat (52a) et/ou une couche intermédiaire sur un second bord de la section de ligne (54).
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