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1. WO2020100446 - CALIBRATION SYSTEM AND DRAWING DEVICE

Publication Number WO/2020/100446
Publication Date 22.05.2020
International Application No. PCT/JP2019/037994
International Filing Date 26.09.2019
IPC
G03F 7/20 2006.01
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20Exposure; Apparatus therefor
G02B 26/12 2006.01
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating or modulating
08for controlling the direction of light
10Scanning systems
12using multifaceted mirrors
Applicants
  • インスペック株式会社 INSPEC INC. [JP]/[JP]
Inventors
  • 菅原 雅史 SUGAWARA Masashi
Agents
  • 安 裕希 AN Youhee
Priority Data
2018-21510415.11.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) CALIBRATION SYSTEM AND DRAWING DEVICE
(FR) SYSTÈME D'ÉTALONNAGE ET DISPOSITIF DE DESSIN
(JA) キャリブレーションシステム及び描画装置
Abstract
(EN)
A calibration system, etc., is provided with which it is possible to perform calibration as needed when forming a continuous pattern on an elongated sheet-like substrate (2). The calibration system comprises: an exposure head support part (43) that supports an exposure head (41); a sensor unit (45) that includes an optical sensor; a sensor unit support part (46) that supports the sensor unit (45) during exposure so that the light reception surface of the optical sensor is parallel to the exposure surface in the exposure region, the sensor unit support part (46) being slideably attached to the exposure head support part (43); a movement mechanism (44) that moves the exposure head support part (43) and the sensor unit support part (46); and a control unit, the control unit causing the exposure head support part (43) and the sensor unit support part (46) to move during calibration, whereby the light reception surface of the optical sensor is disposed in a position corresponding to the exposure surface on which a beam emitted from the exposure head is incident during exposure.
(FR)
La présente invention concerne un système d'étalonnage, etc, qui permet d'effectuer un étalonnage selon les besoins lors de la formation d'un motif continu sur un substrat allongé de type feuille (2). Le système d'étalonnage comprend : une partie de support de tête d'exposition (43) qui supporte une tête d'exposition (41); une unité de capteur (45) qui comprend un capteur optique; une partie de support d'unité de capteur (46) qui supporte l'unité de capteur (45) pendant l'exposition de telle sorte que la surface de réception de lumière du capteur optique est parallèle à la surface d'exposition dans la région d'exposition, la partie de support d'unité de capteur (46) étant fixée de façon coulissante à la partie de support de tête d'exposition (43); un mécanisme de déplacement (44) qui déplace la partie de support de tête d'exposition (43) et la partie de support d'unité de capteur (46); et une unité de commande, l'unité de commande amenant la partie de support de tête d'exposition (43) et la partie de support d'unité de capteur (46) à se déplacer pendant l'étalonnage, la surface de réception de lumière du capteur optique étant disposée dans une position correspondant à la surface d'exposition sur laquelle un faisceau émis par la tête d'exposition est incident pendant l'exposition.
(JA)
長尺のシート状基板(2)に対して連続的なパターンを形成する場合に、随時キャリブレーションを行うことができるキャリブレーションシステム等を提供する。 キャリブレーションシステムは、露光ヘッド(41)を支持する露光ヘッド支持部(43)と、光センサを含むセンサユニット(45)と、露光時に、光センサの受光面が上記露光領域における露光面と平行となるようにセンサユニット(45)を支持すると共に、露光ヘッド支持部(43)に対してスライド移動可能に取り付けられたセンサユニット支持部(46)と、露光ヘッド支持部(43)及びセンサユニット支持部(46)を移動させる移動機構(44)と、制御部とを備え、制御部は、キャリブレーション時に露光ヘッド支持部(43)及びセンサユニット支持部(46)を移動させることにより、光センサの受光面を、露光ヘッドから出射するビームが露光時に入射する露光面に対応する位置に配置する。
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