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1. WO2020099834 - MOTOR AS MOLECULAR DRAG STAGE

Publication Number WO/2020/099834
Publication Date 22.05.2020
International Application No. PCT/GB2019/053149
International Filing Date 07.11.2019
IPC
F04D 19/04 2006.01
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps specially adapted for elastic fluids
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
F04D 25/06 2006.01
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
25Pumping installations or systems specially adapted for elastic fluids
02Units comprising pumps and their driving means
06the pump being electrically driven
F04D 29/58 2006.01
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
58Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
Applicants
  • EDWARDS LIMITED [GB]/[GB]
Inventors
  • PATEY, Alexander James
  • HORLER, Richard Glyn
Agents
  • NORTON, Ian
Priority Data
1818600.714.11.2018GB
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) MOTOR AS MOLECULAR DRAG STAGE
(FR) MOTEUR EN TANT QU'ÉTAGE D'ENTRAÎNEMENT MOLÉCULAIRE
Abstract
(EN)
A molecular drag stage (14), preferably for a turbomolecular pump (10), with a housing (16) comprising an inlet (28) and an outlet (30), a rotor shaft (18) rotatably supported within the housing (16), a electric motor (22) wherein the motor (22) is built by a motor stator (58) surrounding the rotor shaft (18) in order to rotate the rotor shaft (18). Thereby, a small gap (60) is defined be- tween the outer side (62) of the rotor shaft (18) and the inner side (64) of the motor stator (58). The outer side (62) of the rotor shaft (18) or the inner side (64) of the motor stator (58) comprises a thread (66) or a threaded groove in order to convey a gaseous medium from the inlet (28) to the outlet (30).
(FR)
L'invention concerne un étage d'entraînement moléculaire (14), de préférence destiné à une pompe turbomoléculaire (10), comprenant un boîtier (16) comprenant une entrée (28) et une sortie (30), un arbre de rotor (18) supporté rotatif à l'intérieur du boîtier (16), un moteur électrique (22) dans lequel le moteur (22) est construit par un stator de moteur (58) entourant l'arbre de rotor (18) afin de faire tourner l'arbre de rotor (18). Ainsi, un petit espace (60) est délimité entre le côté extérieur (62) de l'arbre de rotor (18) et le côté intérieur (64) du stator de moteur (58). Le côté extérieur (62) de l'arbre de rotor (18) ou le côté intérieur (64) du stator de moteur (58) comprend un filetage (66) ou une rainure filetée afin de transporter un milieu gazeux de l'entrée (28) à la sortie (30).
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