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1. WO2020099095 - ELECTROMAGNETIC COMPOUND LENS AND CHARGED PARTICLE OPTICAL SYSTEM WITH SUCH A LENS

Publication Number WO/2020/099095
Publication Date 22.05.2020
International Application No. PCT/EP2019/079076
International Filing Date 24.10.2019
IPC
H01J 37/145 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
10Lenses
145Combinations of electrostatic and magnetic lenses
H01J 37/28 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
28with scanning beams
H01J 37/143 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
10Lenses
14magnetic
143Permanent magnetic lenses
Applicants
  • ASML NETHERLANDS B.V. [NL]/[NL]
Inventors
  • REN, Weiming
  • LIU, Xuedong
  • HU, Xuerang
  • CHEN, Zhongwei
Agents
  • PETERS, John Antoine
Priority Data
62/768,79916.11.2018US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) ELECTROMAGNETIC COMPOUND LENS AND CHARGED PARTICLE OPTICAL SYSTEM WITH SUCH A LENS
(FR) LENTILLE COMPOSITE ÉLECTROMAGNÉTIQUE ET SYSTÈME OPTIQUE À PARTICULES CHARGÉES DOTÉ D'UNE TELLE LENTILLE
Abstract
(EN)
An electromagnetic compound lens may be configured to focus a charged particle beam. The compound lens may include an electrostatic lens provided on a secondary optical axis and a magnetic lens also provided on the secondary optical axis. The magnetic lens may include a permanent magnet. A charged particle optical system may include a beam separator configured to separate a plurality of beamlets of a primary charged particle beam generated by a source along a primary optical axis from secondary beams of secondary charged particles. The system may include a secondary imaging system configured to focus the secondary beams onto a detector along the secondary optical axis. The secondary imaging system may include the compound lens.
(FR)
La présente invention concerne une lentille composite électromagnétique pouvant être conçue pour focaliser un faisceau de particules chargées. La lentille composite peut comprendre une lentille électrostatique disposée sur un axe optique secondaire et une lentille magnétique également disposée sur l'axe optique secondaire. La lentille magnétique peut comprendre un aimant permanent. Un système optique à particules chargées peut comprendre un séparateur de faisceau conçu pour séparer une pluralité de petits faisceaux d'un faisceau de particules chargées primaires généré par une source le long d'un axe optique primaire à partir de faisceaux secondaires de particules chargées secondaires. Le système peut comprendre un système d'imagerie secondaire conçu pour focaliser les faisceaux secondaires sur un détecteur le long de l'axe optique secondaire. Le système d'imagerie secondaire peut comprendre la lentille composite.
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